上海光机所光学薄膜技术研究与发展中心

发布时间：2007-04-12 来源：转载阅读次数：2822 分享到：

   光学薄膜技术研究与发展中心（简称薄膜中心）是中国科学院上海光学精密机械研究所四个高技术研究与发展中心的其中一个。
    中心的主要研究领域是光学薄膜，其特色体现在激光薄膜，即以追求高光学性能、高激光损伤阈值的激光薄膜为主要努力方向。在光学薄膜的应用波长上，跨越了从软x射线、极紫外、紫外、可见到近红外波段。
    自1964年建所以来，薄膜中心一直是国内从事激光薄膜相关研究与产品开发的最重要的研究机构之一。薄膜中心持续开展了高功率激光薄膜、全固态激光器薄膜、软x射线膜、紫外膜、滤光片、红外膜、He-Ne激光薄膜、强光防护片以及透明导电膜等不同系列光学薄膜的研发工作；同时，自2000年以来，还大力发展了光通信薄膜、投影显示系统光学薄膜、光电功能薄膜等研发工作；并且，对于薄膜的设计方法、制备工艺与光学薄膜的微观结构、损伤机理和光学特性的关系等基础问题进行了大量的实验探索和深入的理论分析。
    在镀膜设备方面，薄膜中心具备磁控溅射、离子束溅射、热蒸发和电子束蒸发等不同的物理气相薄膜沉积手段。截止到2002年9月，经过设备更新以后，薄膜中心共拥有17台镀膜机，形成了真空室尺寸从1.8m到450mm不等的多个系列镀膜设备；从美国进口的全自动双离子束溅射光学镀膜机和国产的一批新型电子束蒸发镀膜机等设备，以及离子源、电子枪、膜厚控制系统等关键部件的添置，为高性能的光学薄膜提供了先进的沉积条件和研究手段，为薄膜中心的下一轮发展初步奠定了物质基础。
    在测试设备方面，薄膜中心拥有完整配置的Perkin-Elmer公司生产的高性能分光光度计Lambda-900，以及Lambda-9、光学干涉测厚仪、NKD7000等常规光学薄膜性能测试手段，同时自行研制了高反射率测量仪、高灵敏度光热效应弱吸收测量仪、总积分散射测量装置、全自动的激光薄膜损伤实验和激光预处理装置等一系列用于高性能激光薄膜研究的专用测试设备；在所内还具备高精度Alpha-step 500型台阶仪、ZYGO光学干涉轮廓仪等薄膜相关的协作测试手段。另外，薄膜中心在利用多种先进的微观测试手段研究薄膜结构与表面质量的过程中积累了丰富的经验，特别是小角x射线衍射、透射电子显微镜、原子力显微镜等。
    薄膜中心的人员数量近年来保持在80人左右，现有3名研究员、6名副研究员和高级工程师、15名助理研究员和工程师，其中具有博士学位者9人，还有约15名工艺娴熟的镀膜操作人员或配套技术人员，在这里攻读硕士、博士学位的研究生约40名。现有2名博士生导师和3名硕士生导师，每年在光学工程和材料学两个专业招收研究生。另外，薄膜中心还聘任了2名客座研究员。
    薄膜中心的科研任务大部分来自国家863高技术计划，也获得自然科学基金、中科院重大基金、上海市科委基金和民口配套等专项基金的支持，每年都能争取到相对稳定的科研经费投入。科研任务还可来源于与其他研究所、公司或高校的合作项目。
    薄膜中心在科学研究的同时，还为国内外广大公司企业、科研院所提供了优质的光学薄膜产品和薄膜技术咨询服务。薄膜中心特别重视研发工作的国内和国际合作，依赖于在海外的毕业学友以及本所在国外人员的信息，近年来国际间的合作项目已经逐步变成中心的重要工作之一。在研发工作的基础上，薄膜中心现在已经形成了一定的量产能力，特别是近年来，汽车车灯薄膜、强光防护滤光片和透明导电膜等多个系列光学薄膜产品和器件的量产化，使得薄膜中心的开发工作已经成为全所开发工作的一个亮点。
    由于薄膜中心在光学薄膜领域，特别是高阈值激光薄膜方面取得的科研成果和开发业绩，她已经成为一个倍受国内外同行关注的研究机构。著名光学专家王之江院士为薄膜中心题词，“发展光学薄膜技术，走向世界”，薄膜中心将持续改进、力求创新，为成为国内外著名的光学薄膜研发基地而不懈努力。

中国科学院上海光机所薄膜中心
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